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东莞市星拓试验设备有限公司

电子行业绿色工厂标准解读之一:多晶硅制造业绿色工厂评价要求

多晶硅制造业绿色工厂评价要求-星拓行业资讯.jpg

    多晶硅是由一种硅源气体经化学气相沉积生成的结构上具有大角度晶粒间界、孪晶间界或两种结构兼有的硅多晶,多晶硅是一种生产使用量大面广的半导体电子原材料,在光伏行业、集成电路制造等领域中发挥着重要基础作用?!抖嗑Ч柚圃煲德躺こ兰垡蟆罚═/CESA 1082-2020)(以下简称“本标准”)规定了多晶硅制造业绿色工厂评价的原则、方法、指标体系及要求、程序和报告等,适用于对运用三氯氢硅法和硅烷法生产多晶硅产品的工厂进行评价,运用其他工艺方法的工厂可参照使用。 

    本标准围绕《绿色工厂评价通则》(GB/T 36132)及《电子信息制造业绿色工厂评价导则》(SJ/T 11744)中规定的基本要求,以及基础设施、管理体系、能源资源投入、产品、环境排放、绩效等6个一级指标展开,充分考虑多晶硅产品制造业的特征特性,进一步细化了27个二级指标,涉及103个具体要求。如,工厂使用的多晶硅还原炉等专用设备应符合产业准入要求,降低能源与资源消耗,减少污染物排放;工厂应投入与副产物四氯化硅处理量相匹配的冷氢化装置,使副产物四氯化硅得到有效处理,并投入适宜的其他污染物处理设备,以确保其污染物排放达到相关法律法规及标准要求;工厂应在多晶硅产品设计中引入生态设计的理念,宜按照《绿色设计产品评价技术规范 多晶硅》(T/CNIA 0021)开展绿色设计产品评价;工厂生产的多晶硅产品品质应满足《电子级多晶硅》(GB/T 12963)或《太阳能级多晶硅》(GB/T 25074)等规定的技术要求等。 

    为保证评价工作可操作性,本标准对“用地集约化、原料无害化、生产洁净化、废物资源化、能源低碳化”5项绿色工厂绩效指标进行细化和分级,将多晶硅产品生产制造工厂的绿色绩效水平分为3个级别,并给出不同绩效水平对应的指标要求和评价得分。如,明确多晶硅制造业“废物资源化”对应的“单位产品硅粉用量”指标要求分别为≤1.1t/t(1级)、≤1.2t/t(2级)、≤1.4t/t(3级);“能源低碳化”对应的“单位产品综合能耗”指标要求分别为≤11.5tce/t(1级)、≤12tce/t(2级)、≤13tce/t(3级)等。 

    亚洲硅业(青海)、新特能源、内蒙古通威等企业参与了本标准的研制和验证。


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